OLYMPUS是專門(mén)設(shè)計(jì)的顯微鏡，可使操作人員以正確的人體工程學(xué)姿勢(shì)進(jìn)行操作，有利于操作人員在長(zhǎng)時(shí)間的工作中順利進(jìn)行檢測(cè)，保證了工作的效率和產(chǎn)品一體化。
強(qiáng)大的缺陷檢查能力
OLYMPUS采用了新穎的光學(xué)系統(tǒng)（UIS2），特別增強(qiáng)了明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)的性能，從而提高了辨別和確認(rèn)缺陷的能力。明視場(chǎng)圖像的色溫*佳化，實(shí)現(xiàn)了容易誤檢的中性顏色的再現(xiàn)，暗視場(chǎng)圖像的亮度約提高了四倍（與本公司原有產(chǎn)品比較）。
觀察影像實(shí)例明視場(chǎng)觀察新暗視場(chǎng)觀察傳統(tǒng)的暗視場(chǎng)觀察
提供擴(kuò)展性的解決方案適應(yīng)分析需求的Analysis-Engine（分析引擎）模塊"顯微鏡控制軟件"作為核心對(duì)系統(tǒng)全體進(jìn)行控制。這個(gè)應(yīng)用靈活的軟件不僅能控制顯微鏡，還能控制數(shù)碼照相機(jī)、電動(dòng)載物臺(tái)等外圍設(shè)備。軟件進(jìn)一步拓展了擴(kuò)張性，滿足了不斷變化的分析需求。
實(shí)現(xiàn)對(duì)人和環(huán)境都沒(méi)有危害的自動(dòng)化
符合SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
符合SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）S2-0706（有關(guān)**的基準(zhǔn)），S8-0705（有關(guān)人體工程學(xué)的基準(zhǔn)）和CE標(biāo)識(shí)（歐洲強(qiáng)制性認(rèn)證）等的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。符合人體工程學(xué)和**對(duì)策等，高水準(zhǔn)的確保了可靠性。
可選的傾斜觀察筒傾斜觀察筒示意圖備有2種能以舒適姿勢(shì)觀察的傾斜鏡筒?？梢愿鶕?jù)用途選擇雙目部?jī)A斜角度由水平0°到42°的、變化范圍大的型號(hào)，或是目視和拍攝影像可同時(shí)觀察的型號(hào)。
潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器潔凈對(duì)應(yīng)的電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器備有兩種堅(jiān)固耐用的潔凈型電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器。6孔和5孔中心補(bǔ)正型號(hào)的明暗視場(chǎng)電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器，采用了新型馬達(dá)，實(shí)現(xiàn)了高速安靜的倍率轉(zhuǎn)換。
高抗振本體高倍率觀察圖像示意圖采用了不易受振動(dòng)影響的高度剛性儀器機(jī)架。即便是高倍率觀察，也不會(huì)出現(xiàn)影像模糊的情況。
可以觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)手控開(kāi)關(guān)操作部配備了觸摸屏操作的手控開(kāi)關(guān)，可以在檢查時(shí)執(zhí)行選擇物鏡和觀察方法等多種操作。只要選擇觀察方法，就能得到基于登錄條件的*合適的觀察影像。自動(dòng)對(duì)焦的追蹤、單次拍攝的切換、對(duì)焦的細(xì)微調(diào)節(jié)、DIC延遲調(diào)節(jié)、亮度調(diào)節(jié)和交換樣本時(shí)的載物臺(tái)退出均可以執(zhí)行。
幫助實(shí)現(xiàn)多種觀察的附件
晶圓搬送機(jī)組合晶圓搬送機(jī)可以對(duì)應(yīng)直徑200 mm及以下的晶圓。新型搬送手臂的采用，實(shí)現(xiàn)了對(duì)90 μm極薄晶圓的搬送，能滿足多種尺寸晶圓搬送的需求。
自動(dòng)載物臺(tái)組合自動(dòng)載物臺(tái)
